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高分辨率3D打印系统  
高分辨率3D打印系统
主要特征 1.具有 100 nm 特征尺寸控制的高速高分辨率 3D 微纳加工 2.广泛的基板和晶圆,最大可达 8 英寸 3.工业批量处理:200 种典型的中尺度结构可在一夜之间打印 4.通过花岗岩基层和减振实现高机械和热稳定性 5.个性化定制系统,适用于广泛应用,是多用户设施的理想选择