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本设备适用于评估和控制在半导体生产中的外延过程并且以被使用在多种不同的材料上, 例如:Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides.
CVP21的净室和模块化的系统设计结构使得本系统可以高效率,准确的测量半导体材料(结构,层)中的掺杂浓度分布.选用合适的电解液与材料接触,腐蚀,从而得到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制
CVP21的系统特点
• 坚固可靠的模块化系统结构
.光学,电子和化学部分相对独立.
• 精确的测量电路模块
•
强力的控制软件,系统操作,使用简便
• 完善的售后服务体系
ECV/结深测试仪/扩散浓度分选仪
德国WEP公司的ECV(型号为CVP21)在太阳能光伏行业的应用非常普及,市场占有率甚至达95%以上,是光伏行业电池技术研究和发展的必要工具之一,在知名的光伏企业都有广泛地使用。
WEP公司的ECV设备:CVP21(见图)
1.
ECV又名扩散浓度测试仪,结深测试仪等,即电化学CV法测扩散后的载流子浓度分布(见图);
2.
相比其他方法如SRP,SIMS等,ECV具有测量使用方便,价格低的优点;
4. CVP21所能测量的深度范围是nm---10um;
5.
测量的载流子浓度范围在10e12cm-3 < N < 10e21cm-3之内都无需校准;
6. 测量扩散样片时,样片是保持“Dry
in”和“Dry out”,并无需做特别处理;
7.
其所用到的化学试剂本地就能买到,价格低且用量很少买一次可以用好几年;
8.
从CVP21所测得的数据能带给研发或工艺人员三方面的信息:一是表面浓度,二是浓度变化曲线,三是结深(见图);
9.
表面浓度对于选择和使用适合的浆料很有帮助,如粘合性,接触电阻等的匹配问题;
10. 浓度分布曲线对掌握和改进扩散工艺提供依据;
11.
结深的信息对电池工艺的总体把握来说是必须的,也是扩散工艺时常需要抽测的项目之一;
12.
参考:测试出的几种扩散浓度分布曲线(见图);
13. 广泛的客户群:Q-CELL, NREL, ISFH,
SHELL,ECN,RWE,HMI,SISE尚德,天合,晶澳,英利,交大泰阳,BYD,海润,晶科,吉阳,南玻,格林保尔…
金牌优质服务
电化学CV分布仪(CV测试仪)
产品经理:Mike
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电化学ECV 掺杂浓度检测 电化学CV分布仪(CV测试仪)电化学CV剖面分析仪 电化学CV载流子浓度
http://www.rayscience.com/cv/27594.pdf
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http://www.rayscience.com/cv/ECVPKHALLSIMSSRP.pdf
http://www.rayscience.com/cv/flyer-cvp21.pdf
http://www.rayscience.com/cv/Heterojunctions.pdf
http://www.rayscience.com/cv/ISFH.pdf
http://www.rayscience.com/cv/ISFHECV.pdf
http://www.rayscience.com/cv/KonstanzECV-Profiles.pdf
http://www.rayscience.com/cv/Letter_of_Excellence_Distributor_for_Rayscience.pdf
http://www.rayscience.com/cv/semiconductortoday.pdf
http://www.rayscience.com/cv/wepsellscvp21.pdf
WAFER PROFILER CVP21WAFER PROFILER CVP21\r \r The Wafer Profiler CVP21 is a handy tool to measure doping profiles in semiconductor layers by Electrochemical Capacitance Voltage Profiling (ECV-Profiling, CV-Profiling) in semiconductor research or production.\r This ECV Profi |
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