变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，最高到820 个驱动器，行程达80µm，表面质量<7nmRMS，采用目前先进的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。

ALPAO公司可变形镜

ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%，高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。

Alpao高速变形镜采用电磁驱动器来使硅薄膜连续反射面发生形变，拥有大波前调制量、高线性度和可以进行实时波前调制等特点，非常适合天文、自由空间激光通信、眼科、多光子荧光显微镜和微电子（下一代半导体设备）等应用。同时，Alpao拥有科学的自适应光学系统控制算法，结合基于EMCCD技术的高灵敏度、高速波前传感器可以实现实时的大气湍流校正。

Alpao是一家从法国的格勒诺布尔约瑟夫•傅里叶大学独立出来的公司，其主要致力于开发使用电磁驱动器的高速、高线性度和大波前调制量连续反射面变形镜，其产品广泛用于天文、自由空间激光通信、眼科、多光子荧光显微镜和下一代高端半导体设备等应用，与欧洲南方天文台（ES0）、霍华德·休斯医学研究所（HHMI, Betzig）与罗切斯特大学在天文、多光子荧光显微镜及眼科应用上面取得了异常丰硕的研究成果。

主要特点：

调制量大：波前相位调制幅度超过80μm

稳定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours

· 高动态范围：响应时间小于500μs

· 镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0µm

表面平整：表面粗糙度 <15Å RMS

亚纳米步长精度

低磁滞：磁滞误差小于1%

单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV

法国ALPAO高速变形镜主要型号相关参数如下：

型号参数	DM69	DM88	DM97-08	DM97-15	DM241	DM277	DM468	DM820
单通道口径	1.5mm	2.5mm	0.8mm	1.5mm	2.5mm	1.5mm
通道数	69	88	97	97	241	277	468	820
孔径	10.5mm	20.0mm	7.2mm	13.5mm	37.5mm	24.5mm	33.0mm	45.0mm
闭环系统镜面平整度	7.0nm RMS (no print through effects)
最大形变量（PTV)	60µm	40µm	80µm	60µm	40µm	15µm
聚焦/散光形变量（PTV）	40µm	30µm	40µm	40µm	30µm	10µm
3x3最大形变量（PTV)	>25µm					>10µm
响应时间（+/-10%)	800μs	1.6ms		800μs	1.6ms	500μs
带宽	>750HZ	>400HZ		>750HZ	>400HZ	>2000HZ
45°相位延迟频率	> 500 Hz	> 300 Hz		> 500 Hz	> 300 Hz	> 1500 Hz
回程误差	<2%
非线性误差	<3%
涂层	保护银（或其他高反射率涂层）
操作温度	-10~35℃