ALPAO高速变形镜

变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
    ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，最高到820 个驱动器，行程达80µm，表面质量<7nmRMS，采用先进的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。

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ALPAO公司可变形镜

ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%，高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。

                                          

 

主要特点：

 

• 调制量大：波前相位调制幅度超过80μm                   

• 稳定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours

·         高动态范围 ：响应时间小于500μs                        

·         镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0µm

• 表面平整：表面粗糙度 <15Å RMS

• 亚纳米步长精度

• 低磁滞：磁滞误差小于1%              

• 单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV

法国ALPAO高速变形镜主要型号相关参数如下：

型  号 参   数	DM69	DM88	DM97-08	DM97-15	DM241	DM277	DM468	DM820
单通道口径	1.5mm	2.5mm	0.8mm	1.5mm	2.5mm	1.5mm
通道数	69	88	97	97	241	277	468	820
孔径	10.5mm	20.0mm	7.2mm	13.5mm	37.5mm	24.5mm	33.0mm	45.0mm
闭环系统镜面平整度	7.0nm RMS (no print   through effects)
最大形变量（PTV)	60µm	40µm	80µm	60µm	40µm	15µm
聚焦/散光形变量（PTV）	40µm	30µm	40µm	40µm	30µm	10µm
3x3最大形变量（PTV)	>25µm					>10µm
响应时间（+/-10%)	800μs	1.6ms		800μs	1.6ms	500μs
带宽	>750HZ	>400HZ		>750HZ	>400HZ	>2000HZ
45°相位延迟频率	> 500 Hz	> 300 Hz		> 500 Hz	> 300 Hz	> 1500 Hz
回程误差	<2%
非线性误差	<3%
涂层	保护银（或其他高反射率涂层）
操作温度	-10~35℃

 法国Alpao公司开发的高速变形镜为电磁驱动式、连续型反射镜面，驱动电极多、可快速设定时间从而实现快速的波前校正。可应用于天文望远镜、主动光学、自适应光学、激光通信等领域