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可变形反射镜(Deformable_Mirror)是自适应光学系统中的核心部件之一，它担负着校正由内、外因素引人的波前误差的任务，并补偿由光路中各种因素引起的成像质量降低的问题，即校正器。按照驱动方式的不同，可变形反射镜分为：(1)压电式；(2)电磁式；(3)电致伸缩式；(4)液压式；

荷兰OKO公司的MEMS薄膜变形镜采用MEMS技术制造，为静电驱动的连续镜面变形镜，具有体积小、成本低、响应快以及集成度高等传统变形镜不具备的特点。可应用于包括激光光束控制、腔内激光控制、实时大气校正、全息、光通信等领域。镜面以铝膜为标准反射膜，用户也可以定制其他金属膜或多层介质反射膜。MEMS变形镜的全幅度的响应快于150μs，由于受限于电子系统，响应时间一般在1ms，可提供动态波前畸变校正。 

 

MEMS薄膜变形镜主要特点：
 
零滞后，可以工作在1kHz的频率范围; 校正范围大，变形量可达25μm; 成本低；小而轻；功率消耗小；高镜面质量
 
产品规格表
 
口径/单元
校正量/
单校正量
扰动/像差校正
激光束校正
磁滞
15mm/ 37ch
9000nm /
500 nm
Excellent up to 0.75 m aperture
Good to moderate up to 100W with a special coating
忽略
30mm/39ch,
59ch, 79ch
12000nm/
600 nm
Excellent up to 1.5 m aperture
Good to moderate up to 150W with a special coating

忽略

40mm,50mm/ 59ch ,79ch
18000nm/
700 nm
Excellent up to 1.5 m aperture
Good to moderate up to 200W with a special coating
忽略
  

 
经典型号技术规格: MMDM30-39/59/79
 
孔径形状 : Approximately circular
口径 : 30mm diameter
电极数: 39/59/79
控制电压: 150 to 300 V, dependent on the mirror
相对参考面的初始RMS值: less than 0.9um
主要的初始像差: Astigmatism
镜面中心最大倾斜: 9um
重量: 500 g

 

库存清单

 

1. MMDM (Micromachined Membrane Deformable Mirror)

All mirrors include a matching set of multichannel electronic drivers (excluding computer interface).

Ø MMDM 10mm 1ch defocus corrector incl HV amplifier (A4MEMS)

Ø MMDM 15mm 37ch Al-coated

Ø MMDM 30mm 39ch Al-coated

Ø MMDM 30mm 59ch Al-coated

Ø MMDM 30mm 79ch Al-coated

Ø MMDM 40mm 59ch Al-coated

Ø MMDM 40mm 79ch Al-coated

Ø MMDM 50mm 79ch Al-coated

The lead time for deformable mirrors is 4 to 24 weeks. Special coatings should be quoted and ordered separately.

2. PDM (Piezoelectric Deformable Mirror)

All mirrors include a matching set of multichannel electronic drivers (excluding computer interface).

Ø PDM 30mm 19ch protected silver or Al coated

Ø PDM 30mm 19ch for correction of low-order aberrations, protected silver or Al coated

Ø PDM 30mm 37ch protected silver or Al coated

Ø PDM 50mm 109ch Al coated

Ø PDM 50mm 37ch protected silver or Al coated

Ø PDM 50mm 37ch, high power thermally stabilized excluding coating

Ø PDM 50mm 79ch Al coated

The lead time for deformable mirrors is 4 to 24 weeks. Special coatings should be quoted and ordered separately.

3. DAC units for computer interface of DM

Ø 24ch PCI DAC board

Ø 40ch USB DAC driver module

4. Wavefront sensors and adaptive optics feedback

Ø Calibrated FrontSurfer wavefront sensor incl. 1/2 inch CCD or CMOS camera and standard microlens array

Ø FrontSurfer WF Sensor software (AO feedback disabled)

Ø FrontSurfer WF Sensor software (AO feedback enabled) 

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价格 销量 人气
PDM30-19 压电式可变形镜OKO  
PDM30-19 压电式可变形镜OKO
OKO生产低成本的压电式可变形镜（PDM），通光孔径分别为30mm和50mm。 变形量可达8um,相邻促动器距离1~3um。OKO可变形镜由OKO HV amplifer驱动，接口是8-bit PCI插口或者是12-bit USB插口。可变形镜的全振幅机械响应时间小于150ms，控制电路的响应时间那里向小于1ms。可变形镜表面可以镀上宽带金属高反膜或者多层电介质膜。
MMDM15 可变形反射镜OKO  
MMDM15 可变形反射镜OKO
OKO微加工薄漠可变形镜（MMDM）的通光孔径范围10~50mm，为激光与望远镜系统中的动态波前校正提供高质量的解决方案。