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可变形反射镜(Deformable_Mirror)是自适应光学系统中的核心部件之一,它担负着校正由内、外因素引人的波前误差的任务,并补偿由光路中各种因素引起的成像质量降低的问题,即校正器。按照驱动方式的不同,可变形反射镜分为:(1)压电式;(2)电磁式;(3)电致伸缩式;(4)液压式;
荷兰OKO公司的MEMS薄膜变形镜采用MEMS技术制造,为静电驱动的连续镜面变形镜,具有体积小、成本低、响应快以及集成度高等传统变形镜不具备的特点。可应用于包括激光光束控制、腔内激光控制、实时大气校正、全息、光通信等领域。镜面以铝膜为标准反射膜,用户也可以定制其他金属膜或多层介质反射膜。MEMS变形镜的全幅度的响应快于150μs,由于受限于电子系统,响应时间一般在1ms,可提供动态波前畸变校正。
口径/单元 |
校正量/
单校正量 |
扰动/像差校正 |
激光束校正 |
磁滞 |
15mm/ 37ch |
9000nm /
500 nm |
Excellent up to 0.75 m aperture |
Good to moderate up to 100W with a special
coating |
忽略 |
30mm/39ch,
59ch, 79ch |
12000nm/
600 nm |
Excellent up to 1.5 m aperture |
Good to moderate up to 150W with a special
coating |
忽略 |
40mm,50mm/ 59ch ,79ch |
18000nm/
700 nm |
Excellent up to 1.5 m aperture |
Good to moderate up to 200W with a special
coating |
忽略 |
1.
MMDM (Micromachined
Membrane Deformable Mirror)
All mirrors include a matching set of multichannel
electronic drivers (excluding computer interface).
Ø
MMDM
10mm 1ch defocus corrector incl HV amplifier
(A4MEMS)
Ø
MMDM
15mm 37ch Al-coated
Ø
MMDM
30mm 39ch Al-coated
Ø
MMDM
30mm 59ch Al-coated
Ø
MMDM
30mm 79ch Al-coated
Ø
MMDM
40mm 59ch Al-coated
Ø
MMDM
40mm 79ch Al-coated
Ø
MMDM
50mm 79ch Al-coated
The lead time for deformable mirrors is 4 to 24 weeks.
Special coatings should be quoted and ordered
separately.
2.
PDM (Piezoelectric
Deformable Mirror)
All mirrors include a matching set of multichannel
electronic drivers (excluding computer interface).
Ø
PDM 30mm
19ch protected silver or Al coated
Ø
PDM 30mm
19ch for correction of low-order aberrations, protected silver or Al
coated
Ø
PDM 30mm
37ch protected silver or Al coated
Ø
PDM 50mm
109ch Al coated
Ø
PDM 50mm
37ch protected silver or Al coated
Ø
PDM 50mm
37ch, high power thermally stabilized excluding coating
Ø
PDM 50mm
79ch Al coated
The lead time for deformable mirrors is 4 to 24 weeks.
Special coatings should be quoted and ordered
separately.
3.
DAC units for computer
interface of DM
Ø
24ch PCI
DAC board
Ø
40ch USB
DAC driver module
4.
Wavefront sensors and
adaptive optics feedback
Ø
Calibrated FrontSurfer wavefront sensor incl. 1/2 inch
CCD or CMOS camera and standard microlens array
Ø
FrontSurfer WF Sensor software (AO feedback
disabled)
Ø FrontSurfer WF Sensor software (AO feedback enabled)
PDM30-19 压电式可变形镜OKOOKO生产低成本的压电式可变形镜(PDM),通光孔径分别为30mm和50mm。 变形量可达8um,相邻促动器距离1~3um。OKO可变形镜由OKO HV amplifer驱动,接口是8-bit PCI插口或者是12-bit USB插口。可变形镜的全振幅机械响应时间小于150ms,控制电路的响应时间那里向小于1ms。可变形镜表面可以镀上宽带金属高反膜或者多层电介质膜。 |
法国CILAS压电式变形镜CILAS的可变形反射镜,利用压电材料所有共享相同的属性(PZT)来工作的。他可以精确地控制很小的变形量(亚纳米级)和高响应速度(几百微秒)。 |
NightN可变形反射镜独特功能的高性价比变形反射镜!镜面可以镀任何介质或者金属材料的反射膜。 |
CILAS的可变形反射镜CILAS的可变形反射镜,利用压电材料所有共享相同的属性(PZT)来工作的。他可以精确地控制很小的变形量(亚纳米级)和高响应速度(几百微秒)。 |
MMDM15 可变形反射镜OKOOKO微加工薄漠可变形镜(MMDM)的通光孔径范围10~50mm,为激光与望远镜系统中的动态波前校正提供高质量的解决方案。 |