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产品概述
r该wct-120ts少子寿命测试仪展示了独特的测量和分析技术。wct-120仪器分别采用由辛顿仪器变温(温度范围从25到200??/span>C )和准稳态光电导法得到硅片的载流子复合寿命。
rr
wct-120ts系统能力
r主要应用:
r在一个温度范围内测量硅片的少数载流子复合寿命。
r其它功能:
rr
温度和注入相关的少子寿命的周期结果。
r应用于:
r??初始材料(硅片)质量监控
r??晶圆(硅片)加工过程中重金属污染的检测
r??评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散
r??使用隐含的I-V测量评价过程中引入的漏电流
rr
r上图为温度和注入相关的寿命测量结果r
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