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r
r 3S提供多种用途探针台,包括:晶圆探针台、平板(LCD/OLED)探针台、RF探针台、LD/PD探针台、高低温探针台、表面电阻率探针台(四探针台)、霍尔效应探针台、客户订制探针台; 提供探针台部件,包括:长工作距离显微镜、防震桌、屏蔽箱、探针座及各种探针、高温卡盘、探针卡、RF探头、适配器、线缆; 已有探针台的升级; EVER-BEING INT'L CORPORATION,16年专注探针台领域研发生产,台湾市场占有率第一,提供与欧美产品品质相媲美、更实用、更高性价比的探针台解决方案。 现热诚向从事半导体材料、器件等方面的研究、生产单位推荐,并可承接各种特殊规格及要求的探针设备主要特点:
r r应用:
1)方块电阻
2)薄片电阻
3)掺杂浓度
4)金属层厚度
5)P/N类型
6)I/V测试
??/p>r r
技术参数:
r r1)Chuck尺寸:标准4英寸,可选6英寸和8英寸
2)测试头上下位移:10mm
3)Z方向分辨率:1微米
4)探针材料:钨钢
5)探针间距:40mil,50mil,62.5mil
6)探针压力:45g,85g,180g
7)针尖半径:40.6微米