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这款紧凑型仪器在所有轴上均可自动化,可在不到4分钟内创建100点的薄层电阻和晶圆电阻率映射。 在点击地图后将探头导航到所需位置后,可以重新测量单点。
设计:
•可以与其他测量结合使用
相同的仪器(请参阅TLM-SCAN ++)
•易于清洁的玻璃真空吸盘
•关闭盖子时自动开始测量
探头:
•在几秒内更改
•通过软件认可
•碳化钨针
•尖端半径:0.25毫米
软件:
•可选颜色方案和数据标签显示的映射
并具有缩放,直方图,线扫描等功能
•点击图像重新测量单点
•电流扫描测试线性
•自动编号
规格:
•10 x 10地图的持续时间:4分钟。
•最大。 测试电流:30 mA
•重量:16公斤
•LWH(cm):364824
FPP-SCAN
经济的四点探针映射器
用于日常生产控制
DESIGN: • Can be combined with other measurements in same instrument (see TLM-SCAN++) • Easy-to-clean glass vacuum chuck • Measurement starts automatically when closing lid PROBE HEADS: • Changed within seconds • Recognized by software • Tungsten carbide needles • Tip radius: 0.25 mm SOFTWARE: • Mappings displayed with selectable color scheme and data labeling and functions like zoom, histogram, line-scans • Re-measure single points by clicking on images • Current-voltage-sweeps to test linearity • Auto numbering SPECIFICATIONS: • Duration for 10 x 10 map: 4 min. • Max. test current: 30 mA • Weight: 16 kg • L W H in cm: 36 48 24 FPP-SCAN Economical four-point-probe mapper for routine production control