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Q1: ALPAO的变形镜是采用压电陶瓷还是MEMS促动器?
A: 都不是。ALPAO采用电磁促动器,其结构见下图。
通过给图中的音圈(黄色部分)通电,来控制磁块(黑色长方形)作上下运动,从而带动连续镜面(红色部分)发生形变。与压电陶瓷促动器和MEMS促动器相比,基于电磁促动器的变形镜的迟滞误差更小,反射镜表面的平整度更好。
Q2: ALPAO的变形镜可用于哪一波段范围?反射率能有多大?
A: ALPAO变形镜表面镀银膜,它具有较宽的工作波段。银镀膜在可见光波段的反射率可参见下图:
银镀膜在红外波段也同样具有较高反射率。如果您对反射率有特殊要求请个别咨询。ALPAO也提供其他金属镀膜,如铝、金等。
Q3: ALPAO变形镜中单个促动器的最大变形量是多少?变形镜参数表格中的波前倾斜峰谷值变形量(Tip/tilt stroke,PtV, wavefront),波前离焦/像散峰谷值变形量(Focus/astig. Stroke, PtV, wavefront)和3×3阵列波前峰谷值变形量(3×3 stroke, PtV, wavefront)具体是什么意思?
A: 单个促动器的最大波前校正量(峰谷值)的可保证值是10 μm,而典型值一般为15-20 μm。在产品手册中之所以没有给出这个值,是因为从实际应用的角度来看,这个参数对于用户的意义并不大,而参数表格中列出的3个参数反而更具有参考意义。这是因为ALPAO的变形镜采用连续镜面。就镜面上某一点来说,对其变形量造成影响的,绝不止距离它最近的一个促动器,而是距离它一定范围内的所有促动器对这一点都有影响。镜面上某一点的形变,是多个促动器形变对它造成的叠加效果。
波前倾斜峰谷值变形量(Tip/tilt stroke, PtV, wavefront)指的是,当变形镜单纯校正倾斜这一种像差时,变形镜最多可校正峰谷值达到多大的波前。波前离焦/像散峰谷值变形量(Focus/astig. Stroke, PtV, wavefront)则描述单独针对离焦或像散进行校正时变形镜的性能表现。而3×3阵列波前峰谷值变形量(3×3 stroke, PtV, wavefront)则是指使构成3×3阵列的9个促动器发生最大形变时,对波前峰谷值造成的影响。
需要特别指出的是,变形镜参数表格中的所有有关校正能力的描述都是以能引起波前多大的变化来衡量的。促动器或镜面的机械形变是其对应的波前的变化量的一半。