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1. IMPRESS 213/224 深紫外纳秒固体激光器
IMPRESS 213是高重频二极管泵浦Q开关固体激光器。优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工,如半导体或显示器修复。其极短的波长适合于直接刻写应用。
典型参数
型 号 | IMPRESS 213/224 |
波 长 | 213/224 nm |
平均功率 | 150/300 mW |
脉 宽 | < 7/9 ns |
脉冲能量 | >15/30 µJ |
重复频率 | 0.1-30 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
应 用
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->光纤布拉格光栅刻写
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->波长敏感加工
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->立体光刻
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->显示器修复
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->微细加工
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->半导体检测
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->倍频氩离子激光器替换
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->光致发光测量
优异的FBG刻写性能
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->超快刻写速度
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->无需预载氢
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->高重频刻写光纤光栅质量更高
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->超低运行与维护成本,体积小
2. IXION-193 纳秒固体激光器
IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。
光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精确光谱仪,精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。
典型参数
型 号 | IXION-193 SLM |
波 长 | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脉 宽 | < 10 ns |
脉冲能量 | >1.6 µJ |
重复频率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
线 宽 | <120MHz; 15 fm; 0.004cm-1 |
调谐范围 | >80GHz; 10 pm; 2.6cm-1 |
相干长度 | 1 m |
特 点
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->工业级的频率转换,密封封装
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->插槽安装激光二极管泵浦
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->优异的TEM00光束形貌
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->脉冲到脉冲之间波动小
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->免维护与热电温控管理
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->LabVIEW驱动
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->内置光谱仪用于波长实时控制
应 用
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->193nm波长计量
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->光谱仪校准
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->干涉测量
<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->准分子激光器的种子注入
3. Pixie系列皮秒锁模固体激光器
典型参数
Model Pixie Pixie-S Pixie-T
wavelength 1342 nm 671 nm 447 nm
average power 1.8 W 0.7 W 0.5 W
pulse duration < 6 ps < 6 ps < 6 ps
energy per pulse 12 nJ 4.5 nJ 3.5 nJ
repetition rate 143 MHz 143 MHz 143 MHz
M2 < 1.3 < 1.3 < 1.3
Applications are e.g. thin film ablation through transparent silicon wafers.
Exceptional advantages are shown for flat-panel display production including processing of OLEDs.
单频纳秒激光器
可提供单纵模激光器,该激光器可输出短脉冲,脉冲宽度<12ns,近衍射极限的的光束M2,重复频率8-15kHz。光谱带宽<80MHz,该激光器非常大的一个优点就是功率非常稳定σ<1%。输出的平均功率为10W@1064nm,倍频之后可获得5W的532nm的激光,经过多次倍频之后可获得355nm,266nm和213nm的超稳定激光。
性能参数:
型号 | SLM-1.06 | SLM-S | SLM-T | SLM-5HG |
波长,nm | 1064 | 532 | 355 | 213 |
光谱带宽,MHz | <80MHz | |||
平均功率,W | >8.0 | >4.0 | >2.0 | >0.1 |
脉冲宽度,ns | <12ns | <12ns | <10 | <8 |
但脉冲能量,μJ | 800 | 400 | 200 | 10 |
重复频率,kHz | 8-15 | |||
M2 | <1.2 | <1.3 | <1.3 | <1.6 |
脉冲之间的稳定性 | σ<0.3% | σ<1.0% | σ<2.0% | σ<2.5% |
所有参数都是在重频为10kHz时测量获得。
同步器和高精度触发
Xiton的同步器选项可以将两台高重复频率的调Q激光器高精度同步。目前市场上应用的低重频(10-50Hz)的同步器为电光调制器,我们生产的同步器比此类电光调制器快千倍以上。超快触发设置项可以允许一个脉冲以250ps去扫描另外一个脉冲,时差抖动<500ps。
同步器选项也可以精确同步另外系统里的连续发射激光器。
可调节激光 OPG/OPO
Xiton也可以提供可调谐固体高重频激光源。波长可以再193nm-5μm可调。
固体可调谐器的近红外和中红外激光是通过周期极化铌酸锂,进行光学参量震荡获得。
可选光谱带宽<80MHz,准连续激光器也可实现带宽减小。