EQ-77 激光驱动白光光源LDLS

对于生命科学和材料科学的研究人员来说，一个可以提供超高亮度和宽带光谱的光源是必不可少的。以前，为了达到宽光谱的需要，多采用复合光源的方式，将氘灯、氙灯、卤钨等等等集成在一起作为灯组来使用。但是,集成这些灯来实现宽光谱的灯组极大地增加了成本,影响了使用效率。这些传统的使用电极驱动的灯源, 由于高温的烧蚀，灯的寿命很短，需要经常更换灯泡。为了解决灯泡寿命过短的问题，Energetiq公司创造性地研发了革命性的采用激光驱动等离子体气体发光的技术， 即激光驱动光源技术(LDLS™=Laser-Driven Light Source)。这个技术不但解决了灯泡寿命短的问题，还同时大幅提高了气体燃烧温度，从而输出光谱范围拓展到170nm 到2100nm ，辐射亮度和稳定度也极大提升，使LDLS光源成为传统电极驱动灯组光源的完美替代品。

结构紧凑、经济实用、高亮度、宽光谱、可单/双光束输出间切换、水冷散热；激光驱动等离子体发光的最新技术。

EQ-77是一款超高亮度、高稳定性的宽带光源，专门用于苛刻的成像和光谱应用。相比于基础型号的EQ-99X和EQ-9，EQ-77能提供的输出光功率更加高，能达到~2W，波长范围仍为170-2100nm。同时，EQ-77的灯室设计也非常紧凑，也可以在两侧同时对称的输出光束，或加装反射器变更为单通道输出。EQ-77适用于工业检测等OEM客户。

                                           LDLS^TM光源原理示意图                                      

     LDLS^TM光源与传统卤钨灯亮度对比

产品特点

• 光辐射>40mW/mm^2.sr.nm，快速测量
• 亮度更高，紫外-可见光-近红外光谱(170-2100nm)
• 噪声低，空间稳定性高
• 长使用寿命 > 9000 hrs（10%衰减）
• 灯室紧凑，结构简洁，水冷散热
• 可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出
• 光输出可控
• 无需多个灯组，光学系统简化
• 无电极工作灯，使用寿命长，降低耗材成本，所需的重复校准次数少

 典型应用

高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，PEEM，缺陷检测，其他需要长寿命灯的应用

主要参数

产品型号	EQ-77
光谱范围	170nm-2100nm
输出功率	~2W
光谱辐亮度	~40mW/mm^2.sr.nm
数值孔径	0.5NA
光源寿命	>9000hrs
输出方式	可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出
光源重量	灯室2.2kg，控制器2.9kg
光源尺寸	灯室128×175×102mm，控制器152×250×132mm
应用范围	高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，缺陷检测，PEEM，其他需要长寿命灯的应用

EQ-77 光源的光谱辐亮度