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EQ-400  
EQ-400
EQ-400是LDLS系列输出功率最高的一款光源,功率达15W,亮度也在100mW/nm/mm2/Sr以上,是目前除激光器外亮度最高的光源。同时,其灯头结构紧凑,很适合各种需要高功率白光照明,或紫外激发等方面的应用。
EQ-77  
EQ-77
相比于EQ-99X和EQ-99XFC,EQ-77是一款更高功率的LDLS光源。波长范围170-2100nm,输出功率2W。同时灯头体积更紧凑,可在两侧同时拥有输出窗口。适用于工业检测等OEM用户。
EQ-9  
EQ-9
LDLS EQ系列白光光源是高亮度、高稳定度的等离子体宽谱光源,采用自主研发的无电极LDLS激光驱动光源技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光
EUV光源 EQ-10HR EQ-10SX  
EUV光源 EQ-10HR EQ-10SX
EQ-10HR是满足高量产EUV光刻的光源,工作频率为10kHz。无电极z箍缩通过感应耦合连接电流与放电等离子体,使得等离子体更加稳定可控。等离子体与光源成分分隔开,减少了碎片,并保证了长的工作寿命。它可以整合到工艺设备中,可以以10 kHz的脉冲循环率连续工作上十亿次。