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法国PHASICS公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术。SID4系列波前分析仪相较传统的夏克-哈特曼波前探测器具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态检测范围、操作简便等独特的优势。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前的测量、分析，眼科虹膜定位波前像差引导等提供了全新的解决方案！PHASICS波前探测器配套的软件界面友好，可直观的输出高分辨率相位图和光束强度分布图。

法国PHASICS波前传感器生产厂家具有雄厚的技术研发实力，能为客户提供的各种自适应光学系统OA-SYS(Adaptive Optics Loops)，制定个性化解决方案。可根据客户的应用需求，为客户推荐最合适的SID4波前传感器、可变形镜或空间光调制器、自适应光学系统操作软件等。

图1 波前校正前与校正后对比

PHASICS波前探测器依据其四波横向剪切干涉专利技术，对哈特曼掩模技术进行了大的升级、改进。PHASICS波前传感器将400X300的超高分辨率和500um的超大动态范围完美结合在了一起。可以满足不同的客户的应用需求，可对激光光束进行光强、位相、PSF（点扩散函数）、MTF（调制传递函数）、OTF（光学传递函数）、波前像差、M^2等进行实时、简便、快速的测量。

第一部   产品介绍

SID4 UV-HR高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量（例如印刷、半导体等等）和表面检测（半导体晶片检测等）。

特点：

u  高分辨率（250x250）

u  通光孔径大（8.0mmx8.0mm）

u  覆盖紫外光谱

u  灵敏度高（0.5um）

u  优化信噪比

图2 SID4-UV波前分析仪

SID4 波前传感器

可用于400nm-1000nm 的激光的波前位相、强度分布，波前像差，激光的M2，泽尼克参数等进行实时的测量及参数输出。

特点：

Ø  波长范围：400-1100nm

Ø  分辨率高（160x120）

Ø  消色差

Ø  测量稳定性高

Ø  对震动不敏感

Ø  操作简单

Ø  结构紧凑，体积小

Ø  可用笔记本电脑控制

图3 SID4位相检测

SID4-HR 波前相差仪

可用于检测各种透镜，光学系统的检测，可以对透镜、光学系统的进行实时的PSF（点扩散函数）、MTF（调制传递函数）、OTF（光学传递函数）、波前像差测量及参数输出。相对于传统的透镜检测设备像：传函仪、干涉仪，具有操作简便，测量精度高，参数输出方便等优点，正在被越来越多的客户推崇。

特点：

u  波长范围：400-1100nm

u  高性能的相机，信噪比高

u  实时测量，立即给出整个物体表面的信息（120000个测量点）

u  曝光时间极短,保证动态物体测量

u  操作简单

图4 SID4-HR

图5 SID4-HR传递函数检测

SID4 NIR 波前分析仪

主要针对1550 nm（1.5um-1.6um）激光的检测，具有分辨率高高灵敏度、高动态范围、操作简便等独特的优势。可用于光学测量，SID4 NIR是测量红外物体和红外透镜像差、PSF、MTF和焦距及表面质量的理想工具。

特点：

²  高分辨率（160x120） 

²  快速测量 

²  性价比高

²  绝对测量

²  对振动不敏感

图6 SID4 NIR激光波前检测

SID4 DWIR 波前仪

具有宽波段测量的特点。可以实时的检测3-5um和8-14um的波前位相，强度分布等响应的波前信息。可以很好的满足红外波段客户的波前检测需求。

特点：

u  光学测量：SID4 DWIR是测量红外物体特性（热成像和安全视觉）或红外透镜（CO2激光器）的理想工具，输出结果包括MTF，PSF，像差，表面质量和透镜焦距。

u  光束测量：（CO2激光器，红外OPO激光光源等等）SID4 DWIR提供详尽的光束特性参数：像差，M2，光强分布，光束特性等

u  高分辨率（96x72）

u  可实现绝对测量

u  可覆盖中红外和远红外波段 大数值孔径测量，无需额外中转透镜

u  快速测量 对振动不敏感

u  可实现离轴测量

u  性价比高

图7SID4 DWIR

SID4产品型号参数汇总

第二部       控制软件

SID4波前分析仪控制软件

SID4波前分析仪控制软件与SID4 波前传感器配套提供的是一款完整的分析软件，其集成了高分辨率的相位图与强度分布图，测量光强分布和波前信息。

借助Labview和C++ 可编程模块数据库（软件二次开发工具包），客户能够根据自身的需要编写各种相位测量与编译模块。

Adaptive Optics Loops将SID4 Wavefront Sensor结合您的应用，选配合适的可变形镜或相位调制器，提供整套的自适应光学系统。减小任何一个光学系统的相差从来都不是简单的，我们的产品能为激光光束和成像系统带来更可靠，高精度的解决方案。

图8 SID4控制界面

SID4光学测量软件Kaleo

Phasics基于剪切干涉的波前传感器与专门设计的光学测量软件Kaleo结合，可以测量球面镜和非球面镜的像差及MTF等信息。只需要几秒钟，我们的仪器为您呈现绝大部分的光学参数，如焦距，光腰，MTF，像差，Zernike系数，曲率半径，PSF等。

第三部       与传统哈特曼波前分析仪比较

与传统哈特曼波前传感器测量结果对比：

技术参数对比：

第四部  应用领域

Ø 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测

Ø 激光光束性能、波前像差、M^2、强度等的检测

Ø  红外、近红外探测

Ø 平行光管/望远镜系统的检测与装调

Ø 卫星遥感成像、生物成像、热成像领域

Ø  球面、非球面光学元器件检测 (平面, 球面, 透镜)

Ø  虹膜定位像差引导

Ø 大口径高精度光学元器件检测

Ø  激光通信领域

Ø  航空航天领域

常见问题: