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法国PHASICS公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术。SID4系列波前分析仪相较传统的夏克-哈特曼波前探测器具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态检测范围、操作简便等独特的优势。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前的测量、分析,眼科虹膜定位波前像差引导等提供了全新的解决方案!PHASICS波前探测器配套的软件界面友好,可直观的输出高分辨率相位图和光束强度分布图。


法国PHASICS波前传感器生产厂家具有雄厚的技术研发实力,能为客户提供的各种自适应光学系统OA-SYS(Adaptive Optics Loops)制定个性化解决方案。可根据客户的应用需求,为客户推荐最合适的SID4波前传感器、可变形镜或空间光调制器、自适应光学系统操作软件等。


 

1 波前校正前与校正后对比

 


PHASICS波前探测器依据其四波横向剪切干涉专利技术,对哈特曼掩模技术进行了大的升级、改进。PHASICS波前传感器将400X300的超高分辨率和500um的超大动态范围完美结合在了一起。可以满足不同的客户的应用需求,可对激光光束进行光强、位相、PSF(点扩散函数)、MTF调制传递函数)、OTF(光学传递函数)、波前像差M^2等进行实时、简便、快速的测量。

 


第一部   产品介绍

 


SID4 UV-HR高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nmSID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量(例如印刷、半导体等等)和表面检测(半导体晶片检测等)。


特点:

u  高分辨率250x250

u  通光孔径大8.0mmx8.0mm

u  覆盖紫外光谱

u  灵敏度高0.5um

u  优化信噪比

 


 

2 SID4-UV波前分析仪

 


SID4 波前传感器


可用于400nm-1000nm 的激光的波前位相、强度分布,波前像差,激光的M2,泽尼克参数等进行实时的测量及参数输出。

特点:

Ø  波长范围:400-1100nm

Ø  分辨率高160x120

Ø  消色差

Ø  测量稳定性高

Ø  对震动不敏感

Ø  操作简单

Ø  结构紧凑,体积小

Ø  可用笔记本电脑控制

 

3 SID4位相检测

 


SID4-HR 波前相差仪


可用于检测各种透镜,光学系统的检测,可以对透镜、光学系统的进行实时的PSF(点扩散函数)、MTF(调制传递函数)、OTF(光学传递函数)、波前像差测量及参数输出。相对于传统的透镜检测设备像:传函仪、干涉仪,具有操作简便,测量精度高,参数输出方便等优点,正在被越来越多的客户推崇。


特点:

u  波长范围:400-1100nm

u  高性能的相机,信噪比高

u  实时测量,立即给出整个物体表面的信息(120000个测量点)

u  曝光时间极短,保证动态物体测量

u  操作简单

 

 

4 SID4-HR


 


5 SID4-HR传递函数检测


 


SID4 NIR 波前分析仪


主要针对1550 nm1.5um-1.6um激光的检测,具有分辨率高高灵敏度、高动态范围、操作简便等独特的优势。可用于光学测量,SID4 NIR是测量红外物体和红外透镜像差、PSFMTF和焦距及表面质量的理想工具。


特点:

²  高分辨率(160x120 

²  快速测量 

²  性价比高

²  绝对测量

²  对振动不敏感


 

 

6 SID4 NIR激光波前检测

 


SID4 DWIR 波前仪


具有宽波段测量的特点。可以实时的检测3-5um8-14um的波前位相,强度分布等响应的波前信息。可以很好的满足红外波段客户的波前检测需求。


特点:

u  光学测量:SID4 DWIR是测量红外物体特性(热成像和安全视觉)或红外透镜(CO2激光器)的理想工具,输出结果包括MTFPSF,像差,表面质量和透镜焦距。

u  光束测量:(CO2激光器,红外OPO激光光源等等)SID4 DWIR提供详尽的光束特性参数:像差,M2,光强分布,光束特性等

u  高分辨率(96x72

u  可实现绝对测量

u  可覆盖中红外和远红外波段 大数值孔径测量,无需额外中转透镜

u  快速测量 对振动不敏感

u  可实现离轴测量

u  性价比高


 

 


7SID4 DWIR


 



SID4产品型号参数汇总


型号

SID4

SID4-HR

SID4 UV-HR

SID4 NIR

SID4 DWIR

SID4-SWIR

孔径尺寸(mm2

3.6 x4.8

8.9 x11.8

8.0 x8.0

3.6x4.8

13.44x10.08

9.6x7.68

空间分辨率(um)

29.6

29.6

32

29.6

140

120

测量点数

160x120

300x400

250x250

160x120

96x72

80X64

波长范围

350-1100 nm

350-1100 nm

190-400 nm

1.5-1.6µm

3-5µm  8-14µm

0.9- 1.7µm

精准度

10nm RMS

10nm RMS

10nm RMS

>15nm RMS

75nm RMS

10nm RMS

动态范围

>100µm

>500µm

>200um

>100µm

/

~100µm

采样速度

60 fps

10 fps

30 fps

60 fps

50 fps

60fps

处理速度

>10fps

>3 fps

1fps

<10fps

20 Hz

>10Hz

 


 

第二部       控制软件


 

SID4波前分析仪控制软件


SID4波前分析仪控制软件SID4 波前传感器配套提供的是一款完整的分析软件,其集成了高分辨率的相位图与强度分布图,测量光强分布和波前信息。


借助LabviewC++ 可编程模块数据库(软件二次开发工具包),客户能够根据自身的需要编写各种相位测量与编译模块。


Adaptive Optics LoopsSID4 Wavefront Sensor结合您的应用,选配合适的可变形镜或相位调制器,提供整套的自适应光学系统。减小任何一个光学系统的相差从来都不是简单的,我们的产品能为激光光束和成像系统带来更可靠,高精度的解决方案。


 

8 SID4控制界面



SID4光学测量软件Kaleo


Phasics基于剪切干涉的波前传感器与专门设计的光学测量软件Kaleo结合,可以测量球面镜和非球面镜的像差及MTF等信息。只需要几秒钟,我们的仪器为您呈现绝大部分的光学参数,如焦距,光腰,MTF,像差,Zernike系数,曲率半径,PSF等。

 



第三部       与传统哈特曼波前分析仪比较


 


与传统哈特曼波前传感器测量结果对比:


 

 



技术参数对比:


 

PHASICS

Shack-Hartmann

区别

技术

剪切干涉

微透镜阵列

PHASICS投放市场时,已经申请技术专利,是对夏克-哈特曼技术的升级

重建方式

傅里叶变换

分区或模式法

夏克-哈特曼波前探测器,局域导数以微透镜单元区域的平均值来近似,误差大

强度

对强度变化不敏感

对强度变化灵敏

PHASICS测量精度高,波前测量不依赖于强度水平

校准

用针孔校准、方便快捷

安装困难,需要精密的调节台

PHASICS使用方便

取样点

SID4-HR300X400测量点

128X128测量点(多个微透镜)

PHASICS具有更高的分辨率

数值孔径

NA0.5

NA0.1

PHASICS动态范围更高

分辨率

29.6μm

115μm

PHASICS具有更高的空间分辨率

测量精度

2nm RMS

5nm RMS

PHASICS更好的测量精度

获取频率

60fps

30fps

PHASICS获取速度快

处理频率

>10Hz

30Hz

PHASICS可满足大部分处理要求

消色差

无需对每个波长进行校准

需要在每个波长处校正

PHASICS更灵活,可以测试宽波段,而不需要校准

 

 



第四部  应用领域

 


Ø 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测

Ø 激光光束性能、波前像差、M^2、强度等的检测

Ø  红外、近红外探测

Ø 平行光管/望远镜系统的检测与装调

Ø 卫星遥感成像、生物成像、热成像领域

Ø  球面、非球面光学元器件检测 (平面, 球面, 透镜)

Ø  虹膜定位像差引导

Ø 大口径高精度光学元器件检测

Ø  激光通信领域

Ø  航空航天领域

常见问题:

1、 问:PHASICS波前分析仪是基于什么原理(算法)?
答:基于四波横向剪切干涉技术4-Wave Lateral Shearing Interferometry

2、问:法国PHASICS公司的波前探测器有什么技术优势?

答:法国PHASICS公司具有雄厚的技术研发实力,能为客户提供的各种自适应光学系统OA-SYS(Adaptive Optics Loops)制定个性化解决方案。其波前探传感器基于剪切干涉原理,已申请专利。该技术使PHASICS波前传感器将更大的空间分辨率400X300),更大的动态范围500um完美的结合到一起,这是其他品牌的波前分析仪无法比拟的。

 


3、问:PHASICS波前分析仪可测试哪些参数?

 

答:PHASICS波前分析仪可测试激光的强度和相位分布,激光光束的孔径大小(NA),形状,指向,振幅分布,光腰(大小及位置),发散角,光束质量(M2Strehl系数)MTFPSF等进行全面的分析。另外:也可以对自适应系统的波前倾斜,离焦,像散,慧差,高阶相差等进行精准分析。


4、问:PHASICS波前分析仪的分辨率是多少?

   答:PHASICS波前传感器相较于传统的夏克-哈特曼具有更大的空间分辨率29.6um400X300个采样点


5、问:有那些用户在使用PHASICS波前分析仪?

答: PHASICS的客户遍及世界很多国家和地区,PHASICS波前分析仪在全世界有着广泛的应用,您可以找到很多用PHASICS波前分析仪的应用论文。国内的客户有:中科院光电研究院,上海光机所,国防科大等。另外国内许多光学系统设计公司、光学系统集成企业也正在使用PHASICS波前分析仪进行检测。

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SID4 SWIR-HR
HIGH RESOLUTION + HIGH SENSITIVITY | for shortwave infrared
SID4 SWIR  
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COST-EFFECTIVE | HIGH RESOLUTION + HIGH SENSITIVITY |for shortwave infrared
SID4  
SID4
HIGH RESOLUTION WAVEFRONT SENSOR | 400-1100 nm
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SID4 UV-HR 波前传感器Phasics
法国PHASICS公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术。SID4系列波前分析仪相较传统的夏克-哈特曼波前探测器具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态检测范围、操作简便等独特的优势。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前的测量、分析,眼科虹膜定位波前像差引导等提供了全新的解决方案!
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