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uPG 101
 
   
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uPG 101

uPG 101 是很经济,容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有,微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2,独特的紧凑结构,使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统,这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计,生成目录,自动对准和生成曝光。

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uPG 101 

uPG 101 是很经济,容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有,微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2,独特的紧凑结构,使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统,这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计,生成目录,自动对准和生成曝光。

 

重要特征选项

最小基板尺寸  6x  6”

最小庙会尺寸0.6um

最小描绘网格20nm

基本灰度曝光模式

实时自动对焦系统

标准或者紫外二级管激光源

矢量和栅格曝光模式

可交换的写模式

摄像系统的一致性

多种数据输入模式

技术参数

写入模式

1

2

3

4

最小结构大小(um)

0.6

1

2.5

5

写速度(mm^2/min)

1

5

35

90

地址网格(nm)

20

40

100

200

边缘粗糙度(3σ,nm)

100

120

200

400

线宽均匀度(3σ,nm)

150

200

400

800

线条测量精度(3σ,nm)

200

200

400

800

 

 

 

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