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瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜“DHMDigital Holographic Microscopy)是划时代性的高科技技术产品,科学史上第一次数字全息显微镜可以直接观测到纳米尺度的分辨率,即时得到样品三维型貌,并且是无接触式的无损测量。
DHM 1000 Family
将波长630nm的半导体激光分成照射到试料的光和参照光两部分来使用。共包括两大品种,一种是试料反射光与参照光进行干涉的“R1000 series”,另一种是试料透过光与参照光进行干涉的“T1000 series”。照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机,作为数字数据保存下来,由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”

应用:
其主要应用是在MEMS研发中用于测量工作,以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比,在同样分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm,水平方向为200nm300nm(取决于物镜)。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm,可以15视野/秒的速度进行测量。因此,1cm见方的试料几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时,同等范围的观察则需要几个小时~10小时。 此次的产品最大可将观察速度扩展至1万视野/秒。由于摄影速度快,因此不需除震台,可用来检测流水线上的产品。

数字全息显微镜 

数字全息显微镜(Digital holographic microscopy,简称DHM)是数字全息技术在显微领域的应用,也被称为全息显微术。与其他显微技术相比,数字全息显微镜并不直接记录被观测物体的图像,而是记录含有被观测物体波前信息的全息图,再通过计算机对所记录的全息图进行数值重建来得到被测物体的相位和振幅(光强)信息,进而完成数字三维重构。打个形象的比方来理解数值重建这个过程,就是利用计算机算法代替传统光学显微镜中的成像透镜。

其他一些同数字全息显微技术相关的显微术包括干涉显微镜(Interferometric microscopy)、光学相干断层扫描技术(Optical coherence tomography,简称OCT)以及衍射相差显微镜(diffraction phase microscopy)。这些显微技术的共同点是都有一束参考波前,用来同时获得振幅和相位信息,信息被数字图像传感器采集,再通过计算机重建形成被测物体的图像。与之相比,传统的光学显微镜由于没有参考波束,只能记录振幅(光强)而没有相位,因此并不能读取物体的三维信息

工作原理

图1、DHM的工作原理图1、DHM的工作原理
数字全息显微镜DHM的工作原理如图1所示,通过干涉产生的全息图被CCD传感器采集,经过电脑特定算法计算,重建微观物体的三维图像[1]  全息图(Hologram)是由若干干涉条纹构成的,而要产生干涉条纹需要使用单色相干光源,比如说激光
品牌: LynceeTec(2)
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