德国海德堡

官方站点:https://heidelberg-instruments.com/

德国海德堡(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过50几个国家、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的伙伴。

桌面式无掩膜光刻机

µMLA 依托全球主流的µPG平台开发，是一款定位研发与快速原型的高端台式无掩模光刻系统，具备无需掩模、高精度、易用稳定等特点，是科研与小批量原型加工的标准入门级装备。 µMLA目前已经被海德堡仪器(Heidelberg Instruments)广泛用于MEMS、微流控、微光学、传感器、二维材料等领域，是纳米加工实验室、科研机构与工业界高性价比、多用户通用的微结构加工设备。

DWL66+

DWL66+激光光刻系统是一个经济的，高分辨率模式发生器为低容量掩模制造和直写。这个系统的灵活性和功能让最终的光刻研究工具用于微电子机械系统，生物微机电，微光学，专用集成电路，微流体，传感器，计算机全息技术，还有其他的微型机构的应用。用DWL66+的客户在世界范围内包含了超过150个领先的大学和研究设备处。这个系统的很多功能一直在与这些机构进行密切的合作开发。