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Xiton

官方站点:http://www.xiton-photonics.com/

1.  IMPRESS 213/224 深紫外纳秒固体激光器

IMPRESS 213是高重频二极管泵浦Q开关固体激光器。优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工,如半导体或显示器修复。其极短的波长适合于直接刻写应用。

典型参数

型       号

IMPRESS 213/224

波       长

      213/224 nm

平均功率

      150/300 mW

脉       宽

       < 7/9 ns

脉冲能量

     >15/30 µJ

重复频率

     0.1-30 kHz

M2  因子

         < 1.6

应 用

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->光纤布拉格光栅刻写

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->波长敏感加工

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->立体光刻

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->显示器修复

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->微细加工

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->半导体检测

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->倍频氩离子激光器替换

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->光致发光测量

优异的FBG刻写性能

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->超快刻写速度

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->无需预载氢

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->高重频刻写光纤光栅质量更高

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->超低运行与维护成本,体积小


2.  IXION-193 纳秒固体激光器

IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。

光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm194nm范围可选。系统可选内置高精确光谱仪,精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。

典型参数

型    号

IXION-193 SLM

波    长

193.368 nm

平均功率

>10 mW

脉    宽

< 10 ns

脉冲能量

>1.6 µJ

重复频率

6 kHz

M2  因子

< 1.6

线    宽

<120MHz; 15 fm; 0.004cm-1

调谐范围

>80GHz; 10 pm; 2.6cm-1

相干长度

1 m

特 点

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->工业级的频率转换,密封封装

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->插槽安装激光二极管泵浦

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->优异的TEM00光束形貌

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->脉冲到脉冲之间波动小

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->免维护与热电温控管理

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->LabVIEW驱动

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->内置光谱仪用于波长实时控制

应 用

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->193nm波长计量

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->光谱仪校准

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->干涉测量

<!--[if !supportLists]--><!--[endif]-->准分子激光器的种子注入


3. Pixie系列皮秒锁模固体激光器

典型参数

Model                   Pixie           Pixie-S         Pixie-T

wavelength          1342 nm     671 nm         447 nm

average power    1.8 W          0.7 W           0.5 W

pulse duration      < 6 ps         < 6 ps          < 6 ps

energy per pulse   12 nJ         4.5 nJ           3.5 nJ

repetition rate      143 MHz    143 MHz     143 MHz

M2                          < 1.3          < 1.3            < 1.3

       Applications are e.g. thin film ablation through transparent silicon wafers.

Exceptional advantages are shown for flat-panel display production including processing of OLEDs.


Xiton可按照客户对激光器不同的需求,提供特别的激光器定制服务。

 

单频纳秒激光器

 

可提供单纵模激光器,该激光器可输出短脉冲,脉冲宽度<12ns,近衍射极限的的光束M2,重复频率8-15kHz。光谱带宽<80MHz,该激光器非常大的一个优点就是功率非常稳定σ1%。输出的平均功率为10W@1064nm,倍频之后可获得5W532nm的激光,经过多次倍频之后可获得355nm266nm213nm的超稳定激光。

 

性能参数:

型号

SLM-1.06

SLM-S

SLM-T

SLM-5HG

波长,nm

1064

532

355

213

光谱带宽,MHz

80MHz

平均功率,W

8.0

4.0

2.0

0.1

脉冲宽度,ns

12ns

12ns

10

8

但脉冲能量,μJ

800

400

200

10

重复频率,kHz

8-15

M2

1.2

1.3

1.3

1.6

脉冲之间的稳定性

σ0.3%

σ1.0%

σ2.0%

σ2.5%

所有参数都是在重频为10kHz时测量获得。

 

同步器和高精度触发

 

Xiton的同步器选项可以将两台高重复频率的调Q激光器高精度同步。目前市场上应用的低重频(10-50Hz)的同步器为电光调制器,我们生产的同步器比此类电光调制器快千倍以上。超快触发设置项可以允许一个脉冲以250ps去扫描另外一个脉冲,时差抖动<500ps

 

同步器选项也可以精确同步另外系统里的连续发射激光器。

 可调节激光 OPG/OPO

 

Xiton也可以提供可调谐固体高重频激光源。波长可以再193nm-5μm可调。

 

固体可调谐器的近红外和中红外激光是通过周期极化铌酸锂,进行光学参量震荡获得。

 

可选光谱带宽<80MHz,准连续激光器也可实现带宽减小。